超微量水分計｜製品紹介｜ボールウェーブ株式会社

超微量な水分を超高速で計測し、
製造プロセスに革新をもたらす。

超微量水分計について

超微量水分計「FalconTrace」は、ボールSAWセンサを用いて、工業用ガスや天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。

応答速度が極めて早く、水分量の変化をリアルタイムでモニターでき、水分量とバックグランドガス組成分析の2項目測定も可能。気体中の水分濃度を1ppｂ（10億分の１）レベルまで正確に測定することができます。

ボールSAWセンサの測定原理

① すだれ状電極（IDT; Inter Digital Transducer）が弾性表面波を発生
② 弾性表面波がボールの赤道上を周回し塗布した感応膜のわずかな変化に反応
③ 反応した弾性表面波の信号変化をすだれ状電極が検出
④ 多重周回により微小な変化を積算することで高感度なセンシングを実現

導入事例･用途

半導体製造装置メーカー
（主に前工程）
蓄電池メーカーおよび
その材料メーカーの製造工程
産業ガスメーカー

製品ラインナップ

応答速度が極めて早く、水分量の変化を秒単位でモニターできるので、半導体や二次電池の製造プロセスにおいて製品の歩留まりや品質安定に役立ちます。
バックグラウンドガスごとに再構成する必要がなく、天然ガスなどの成分に変動がある場合には同時検知も可能です。また、センサ材料が水晶の球であることから耐腐食性であり、軽量で持ち運びがしやすいことも大きな利点です。